Источник | Импакт-фактор | Описание публикаций | Год | Число цитирований | DOI |
Нет данных | |||||
— | — | Simulation of defect zones in scribed silicon wafers / Ogorodnikov Alexey I.,Ogorodnikova Olga M.,Tikhonov Igor N. // . - 2010. - V. 15, l. . | 2010 | 2 |
10.1088/1757-899X/15/1/012046 (полный текст) |
|